6位一體氟化物蒸餾裝置氟化物蒸餾儀也叫水蒸汽蒸餾裝置，通過采用預蒸餾的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。

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